Hexapode : une solution flexible et performante

Les hexapodes trouvent leurs applications dans les
industries navale, spatiale, automobile, optique, médicale,
électronique, nucléaire, aéronautique...

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DIFFRACTOMÈTRE SOUS VIDE

CONTEXTE DU PROJET

La ligne de lumière SIRIUS du synchrotron SOLEIL est spécialisée dans l’étude des nanostructures de semi-conducteurs et des oxydes fonctionnels en utilisant des techniques de diffraction des rayons X tendres et de spectroscopie dans les conditions d’incidence conventionnelles et rasantes (GIXRD, GI-XAFS, Reflexafs, DAFS, etc.).

Pour améliorer ses équipements et offrir de nouvelles capacités expérimentales, la ligne SIRIUS a décidé d’acquérir un diffractomètre sous vide avec l’aide du Conseil Suédois de la Recherche (collaboration Vetenskapsrådet MAX IV – SOLEIL) et de la région Ile de France (projet « FORTE », DIM-Oxymore).

DEMANDE DU CLIENT

Symétrie a fourni un diffractomètre sous vide intégrant un hexapode de positionnement d’échantillon BORA compatible vide et 4 cercles Huber compatibles vide, la chambre à vide étant positionnée par un hexapode JORAN de plus grande taille qui sert à faire le pré-alignement.

SPÉCIFICITÉS DU PROJET

 Vide secondaire (10-6 mbar) pour l’hexapode BORA et les 4 cercles
Accessibilité de l’échantillon alors que les 4 cercles ont de grandes étendues angulaires
Collecteur tournant compatible vide pour l’hexapode BORA pour faciliter la gestion des câbles
 Résolution de l’hexapode BORA : 0.1 µm, 2 µrad

PRODUITS ASSOCIÉS